




氣體鋼瓶的正確使用方法
高壓氣瓶的搬運、存放和充裝應注意事項:
(1)充裝有氣的氣瓶裝車運輸時,應妥善加以固定,避免途中滾動碰撞;裝卸車時應輕抬輕放,禁止采用拋丟、下滑或其它易引起碰擊的方法。
(2)充裝有互相接觸后可引起燃燒、爆1炸氣體的氣瓶(如氫氣瓶和氧氣瓶),不能同車搬運或同存一處,也不能與其它易1燃易1爆物品混合存放。
(3)氣瓶瓶體有缺陷、安全附件不全或已損壞,不能保證安全使用的,切不可再送去充裝氣體,應送交有關(guān)單位檢查合格后方可使用。

準分子預混氣的使用
可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱,而后再進入制程機臺的使用點,于進入機臺腔體之前,準分子預混氣廠家,會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機,以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng),準分子預混氣供應商,但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應,這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。


氣瓶驗收
1. 盛裝腐蝕性氣體的氣瓶(如so2、硫1化氫等),每二年檢驗一次;
2. 盛裝一般氣體的氣瓶(如空氣、氧氣、氮氣、氫氣、乙1炔等),蘭州準分子預混氣,每三年檢驗一次;
3. 盛裝惰性氣體的氣瓶(Ar、ne、氦等),每五年檢驗一次;
4. 氣瓶在使用過程中,發(fā)現(xiàn)有嚴重腐蝕、損傷或?qū)ζ浒踩煽啃杂袘岩蓵r,準分子預混氣廠,應提前進行檢驗。超過檢驗期 限的氣瓶,啟用前應進行檢驗。
5. 庫存和停用時間超過一個檢驗周期的氣瓶,啟用前應進行檢驗。

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